荷蘭Best--(美國商業資訊)--Vistec Lithography, B.V.今天欣然宣佈，該公司與中國武漢華中科技大學光電子科學與工程學院簽署了一項策略合作協議。中國全國重點大學華中科技大學與領先的電子束微影系統供應商Vistec Lithography將就奈米微影的研究與教育展開合作。

該專案的核心是Vistec EBPG5000pES電子束微影系統，該系統可以使光電子科學與工程學院為其學生和聯合研究合作夥伴提高研究和教育效率。繆向水和周文利教授表示：「憑藉新模式系統，我們可以進一步增強我們在光子學和光電子學領域的領導地位，而光子學和光電子學是21世紀最強大的技術。」

Vistec EBPG5000pES是一種基於經過驗證的可靠系統架構的高效能微影工具。憑藉其適用於50和100kV加速電壓的電子光學柱（TFE源），該系統可提供小於2.2nm的光斑尺寸，從而使奈米微影結構小於通常的8nm。該系統包含一個互動式圖形使用者介面（GUI），該介面為各種多使用者大學類型環境提供了使用便利性。

Vistec Lithography, B.V.董事總經理Erwin Mueller表示：「能夠被華中科技大學選為合作夥伴，我們深感自豪。華中科技大學廣泛的科學受眾和研究網路確實令人印象深刻。憑藉EBPG5000pES在全球尖端大學和研究機構中經過現場驗證的可靠性，以及基於Vistec員工的廣泛經驗，我們能夠為華中科技大學提供一個良好的基礎，來追求其策略研究藍圖。我們期待在中國進一步拓展業務。」

媒體資訊：

華中科技大學

華中科技大學擁有50多年的歷史，已經發展為一所充滿活力的大學，獲得了社會支援和良好聲譽，並肩負著歷史使命。憑藉快速發展、實用主義和資源的有效利用，華中科技大學在中國國內大學中脫穎而出。該大學致力於傳播現有知識和創造新知識。該大學努力培養有能力的創新年輕人才，並滿足個人和全球需求。為此，該大學尋求以學生為中心，從而使他們可以探索他們的能力和興趣，並充分開發他們的智力和人類潛能。該大學的宗旨在透過各學科間的協調發展努力來推動學術創新，並利用實現卓越的堅定動力，致力於為滿足不斷變化的社會需求作出貢獻。

華中科技大學還是以研究為基礎的大學，並與商業和工業維持著緊密關聯。該大學擁有中國5家國家實驗室之一的武漢國家光電實驗室（WNLO），以及12項國家科學設施之一的脈衝強磁場中心（PHMFC）。該大學還擁有10個以上的國家級科學研究平台。

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Vistec Electron Beam Lithography Group

Vistec Electron Beam Lithography Group是一家全球性電子束微影系統製造商與供應商，從奈米和生物技術到光子學和工業環境（例如面罩製造或者針對快速原型開發和設計評估的直接寫入），其應用範圍很廣泛。Vistec Electron Beam Lithography Group合併了Vistec Electron Beam與Vistec Lithography。

Vistec Lithography

Vistec Lithography開發、製造和銷售採用高斯光束技術的電子束微影設備。其電子束系統獲得了全球先進研究實驗室和大學的廣泛認可。

Vistec Electron Beam

Vistec Electron Beam提供基於成形波束技術的電子束微影設備，這些設備被全球領先的半導體製造商和許多研究機構所使用。其創新的電子束系統可用於微晶片生產和集成光學，並且可以用於科學和商業研究。

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