英國克勞利--(美國商業資訊)--Edwards Limited是一家全球領先的真空設備和尾氣處理系統製造商及相關增值服務提供者，該公司今天推出了其STP-iXA4506大容量渦輪分子泵(TMP)。這款產品旨在為半導體、平板顯示器、LED和太陽能電池板製造商節省更多成本。

Edwards TMP產品行銷經理Shinichi Yoshino表示：「新型STP-iXA4506渦輪泵是擁有改良抽氣性能的一體化解決方案。它採用了Edwards最新的轉子設計和成熟且高度可靠的iXA系列機載控制器，使容許的通過的氣量最大化，從而使高流量過程所需的渦輪泵數量減至最小，尤其是在太陽能和平板應用中。泵集成的控制器免去了對線纜和獨立控制器機架的需求，因而也節省了成本，體積緊湊易於在各種應用中快速安裝。此外，就像我們所有的磁浮式渦輪泵一樣，無需機械軸承的特性幾乎免除了定期維護的成本。”

這款渦輪泵的高抽速度(4300 l/s N₂)和高流量（高達4300 sccm N₂ ）結合其有效抽吸輕氣體和重氣體的能力，使STP-iXA4506非常適用于許多不同的大流量、高流動性應用，包括半導體蝕刻、LCD蝕刻、玻璃鍍膜、太陽能PVD和PVD鍍膜。其高度集成的設計包括一個完全密封的電子模組，以在最嚴苛的工廠環境中實現穩健、可靠的操作。需要時還可增加一套加熱系統，以減少來自工藝過程中副產物的沉積物和微粒的堆積。

關於 Edwards

Edwards是一家全球領先的真空設備、尾氣處理系統和相關增值服務的開發商和製造商。其產品和服務在半導體、平板顯示器、LED和太陽能電池的製造流程中不可或缺；被應用於日益多樣化的工業生產過程，包括電力、玻璃和其他鍍膜應用、鋼鐵和其他冶金工業、製藥和化學工業，並用於科學儀器和多種研發應用。

Edwards在全球約20個國家擁有3,200多名全職雇員和500名臨時雇員，從事于高科技真空和廢氣管理設備的設計、製造和支援。

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STPiXA4506 （照片：美國商業資訊）