紐約州奧爾巴尼和日本京都--(美國商業資訊)--大日本SCREEN製造株式會社(Dainippon Screen Mfg.)證實，其子公司開發的SOKUDO DUO 450mm塗層/顯影系統(coat/develop track system)已被總部位於奧爾巴尼市紐約州立大學(SUNY)奈米科學與工程學院(CNSE)的全球450mm聯盟(G450C)相中，用於浸潤式ArF微影技術和定向自組裝(DSA)應用。SOKUDO DUO將被嵌入位於CNSE的NanoFab Xtension內由大日本SCREEN提供的成套450mm清洗設備中。大日本SCREEN提供的450mm晶圓刷洗機、單晶圓清洗以及毫秒退火系統將部署在G450C計畫安裝的設備中。G450C是由紐約州州長安德魯·庫默(Andrew M. Cuomo)於2011年9月宣布設立的公私協力(public-private partnership, PPP)聯盟，旨在促進該產業向新的標準450mm晶圓尺寸轉型。該聯盟由CNSE聯合英特爾(Intel)、IBM、GLOBALFOUNDRIES、三星(Samsung)和台積電(TSMC)帶頭創立。
SOKUDO DUO擬採用與450mm浸潤式ArF微影系統一致的介面，並將於2014年夏季運抵紐約州奧爾巴尼市G450C總部，屆時將啟動所有安裝與參數特徵化工作。此舉極力回應並支援2013年7月紐約州發布的一份公告，該公告計畫將於2015年4月向CNSE提供一套450mm晶圓ArF浸潤式微影系統。值得注意的是，作為與G450C達成協議的一部分，SOKUDO也將提供450mm虛擬晶圓廠track製程支援，從而實現450mm DSA圖案化測試晶圓製造用於G450C成員的開發設備。DSA圖形化功能也將整合到SOKUDO DUO中，用於輔助採用浸潤式ArF曝光的微影技術。
SOKUDO Co., Ltd.執行長兼大日本SCREEN半導體設備公司總裁須原忠浩(Tadahiro Suhara)表示：「總部位於紐約州的G450C及其成員公司是450mm晶圓轉型的先驅，能夠與他們並肩合作我們感到十分高興。大日本SCREEN集團參與G450C專案的深度印證了我們在450mm半導體製造設備開發中的領導地位。尤其值得自豪的是該專案選擇了SOKUDO DUO 450mm track系統，此舉將鞏固我們長期作為尖端track供應商的地位。」
CNSE製造創新副總裁兼G450C總經理Paul Farrar, Jr.,表示：「在安德魯·庫默州長的領導與宏偉願景的指導下，紐約進一步成為產業向450mm晶圓技術實現關鍵轉變的中心。我們非常高興與大日本SCREEN的半導體設備公司繼續合作，並對其子公司 SOKUDO Co., Ltd參與幫助向450mm晶圓技術實現重大轉變表示熱烈歡迎。」
2013年7月，在美西半導體展(SEMICON West)期間舉辦的SOKUDO微影技術早餐論壇上曾揭露，SOKUDO DUO 依比例增大的一種450mm完整晶圓已經在大日本SCREEN製程技術中心（位於日本彥根市）的無塵室內運作一年以上。SOKUDO是首批極力支援該聯盟的公司之一，其推出了各種450mm薄膜塗層的測試晶圓，包括用於實現450mm奈米壓印微影圖案化、DSA功能及參數特徵化的黏附性塗層。
作為半導體設備的領導企業，大日本SCREEN和SOKUDO將繼續推出世界一流的產品，為產業發展做出貢獻。
關於大日本SCREEN製造株式會社
大日本SCREEN成立於1943年，目前位居晶圓清洗與退火系統等半導體設備全球供應商前十大。多年以來，公司借助多年來開發的磁心映射處理、微影與清洗技術，包括涵蓋平面顯示器、印刷電路板和媒體技術方面的業務，其規模已得到進一步擴大。網址：www.screen.co.jp/eng/
關於SOKUDO Co., Ltd.
SOKUDO是大日本SCREEN旗下子公司，專注於開發半導體生產用的先進塗層/顯影系統。其系列產品廣泛用於各種微影應用（例如：i-line、KrF、浸潤式ArF、EUV、電子束），以及基板規格在50-450mm範圍內的各種利基市場。網址：www.sokudo.com
關於紐約州立大學奈米科學與工程學院
紐約州立大學(SUNY)奈米科學與工程學院(CNSE)是新興奈米科學、奈米工程、奈米生物科學以及奈米經濟學學科領域的全球一流學院。CNSE是由大學推動的全球頂尖研究型企事業單位，該學院擁有超過200億美元的高科技投資及300多家企業合作夥伴。占地130萬平方英尺的奧爾巴尼NanoTech megaplex是彙聚有逾3100名科學家、研究人員、工程師及師生的大本營。網址：www.sunycnse.com
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聯絡方式：
Charles Pieczulewski
大日本SCREEN製造株式會社半導體設備公司
策略業務規劃部副總經理
兼SOKUDO Co., Ltd.
策略市場總監
charles@screen.co.jp
電話+81-75-417-2670
SOKUDO DUO 450mm track系統（照片：美國商業資訊）
