俄勒冈州科瓦利斯--(美国商业资讯)--用于极端紫外线光刻(EUV)的高分辨率金属氧化物光刻胶先驱Inpria今天宣布，它已在C轮融资中获得多家投资者提供的3,100万美元资金，这些投资者代表了半导体制造生态系统领导者。此次融资由光刻胶制造商和现有投资者JSR Corporation牵头。新投资者包括SK hynix Inc.和TSMC Partners。现有投资者Air Liquide Venture Capital ALIAD、Applied Ventures、英特尔资本(Intel Capital)和三星创投(Samsung Venture Investment Corporation)也参与了本轮融资。

JSR Micro总裁兼Inpria新任董事Mark Slezak表示：“Inpria是用于高级EUV光刻工艺的金属氧化物光刻胶的世界领导者。我们很高兴扩大与Inpria的合作，因为我们在质量和整体市场接受度方面与他们合作。”

由氧化锡纳米团簇组成的Inpria光刻胶提供了更高的分辨率，其结构块大小仅为传统聚合物基抗蚀剂的一小部分，可调节至以最佳方式吸收EUV光子。Inpria光刻胶具有无与伦比的蚀刻选择性，可用于简化制造流程和提供更大的工艺窗口，以降低总体拥有成本。Inpria最近投运了其大批量生产工厂，以支持客户初始的产量提升。

Inpria首席执行官Andrew Grenville补充道：“我们认为，这些投资者的参与证明了Inpria对半导体行业的战略意义。我们感到高兴的是，我们的投资者群现在包括了全球正在采用EUV蚀刻的所有半导体制造商。光刻胶、设备和工业化学品制造商的投资者也积极参与，共同协助实现了本轮融资目标。我们期待与我们的全球合作伙伴合作，为本行业提供突破性的EUV光刻胶平台。”

关于Inpria

Inpria公司是金属氧化物光刻胶设计、开发和制造的全球领导者。Inpria的EUV光刻胶使半导体制造商能够充分利用EUV光刻技术的潜力。如需了解更多信息，请访问www.inpria.com。

关于JSR Corporation

JSR Corporation是一家在全球拥有9000多名员工的跨国公司，是各种技术驱动市场中领先的材料供应商。JSR的全球网络总部位于日本东京，在欧洲、美国、中国、台湾、韩国、新加坡和泰国设有工厂和办事处。JSR是一家以研究为导向的公司，致力于与许多行业的领先创新者紧密合作，这些行业对人类社会现在和未来的福利至关重要：生命科学、储能、合成橡胶、电子材料、显示器和边缘计算相关行业。有关JSR Corporation的更多信息，请访问www.jsr.co.jp。

关于SK hynix Inc.
www.skhynix.com

关于ALIAD
www.airliquide.com/connected-innovation/aliad-venture-capital

关于Applied Ventures
www.appliedventures.com或关注@Applied_VC

关于英特尔资本
www.intelcapital.com或关注@Intelcapital

关于三星创投
www.samsungventure.co.kr

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