日本横滨--(美国商业资讯)--全球领先的高精度3D传感技术解决方案开发商和制造商CyberOptics® Corporation (NASDAQ: CYBE)将出席于2015年4月20日至22日在日本横滨举行的第22届光掩模和NGL掩模技术研讨会。
4月21日（周二）17:25-19:10的海报展示将由CyberOptics现场应用工程师Yukinobu Hayashi先生主持，探讨如何在中间掩模环境下提高涉及空气颗粒的工艺流程的效率和有效性。
Hayashi-san表示：“使用传统的表面扫描掩模、原位法或手持法在光刻应用中减少空气颗粒仍然是个严峻挑战。这些传统方法缺乏实时反馈并经常存在未被检测到的意外粒子源或需要很长时间才能最终确定粒子源。CyberOptics将探讨使用无线掩模颗粒计数法作为实时快速定位和排除空气颗粒的更高效方法的优势。我们将对相比其他方法节省10倍时间的案例研究详情进行评析。”
新型ReticleSense®空气颗粒传感器石英(APSRQ)配有石英罩，可在处理石英掩模板的半导体工具中使用。其内部技术即为被全球设备OEM和晶圆厂广泛采用的CyberOptics颗粒传感器技术，该技术可提高产量和工具正常运行时间。ReticleSense APSRQ被设计和开发专门用于半导体晶圆厂的扫描仪，其拥有所有必要的对准标记和条形码，可与ASML、尼康和佳能扫描仪兼容。就像石英掩模板一样，APSRQ可直接装载至扫描仪中并在整个掩模板路径上实时检测何时何处存在微粒。
CyberOptics ReticleSense专利技术值得光刻工程师们信赖，该技术是经过实践检验的WaferSense®晶圆形空气颗粒传感器(APS)设备的进一步拓展，并且已经在全球半导体晶圆厂使用，包括三家最大的制造商，无污染环境对这些工厂来说至关重要。
WaferSense和ReticleSense空气颗粒传感器帮助设备工程师缩短设备认证、投产和维修周期，同时减少开支。与传统的表面扫描晶片法相比，采用WaferSense或ReticleSense传感器的客户节约了88%的时间，成本降低高达95%，产量提升多达20倍，同时人力资源需求减少了一半。
关于WaferSense和ReticleSense系列
WaferSense测量产品组合包括自动调平系统(ALS)、自动间隙调整系统(AGS)、自动振动系统(AVS)、自动校准系统(ATS)和空气颗粒传感器(APS) ，目前提供200mm、300mm和450mm晶圆尺寸。此外，APS与ALS均可提供150mm晶圆尺寸。ReticleSense空气颗粒传感器(APSR)、ReticleSense自动调平系统(ALSR)和新型ReticleSense空气颗粒传感器石英(APSRQ)采用光罩外形。
更多有关CyberOptics全系列解决方案的信息，请访问公司网站：www.cyberoptics.com。
关于CyberOptics
CyberOptics Corporation (NASDAQ:CYBE)是一家全球领先的高精度传感技术解决方案开发商和制造商。CyberOptics传感器被应用于通用计量和3D扫描、表面贴装技术(SMT)及半导体市场，可显著提高产量和生产力。公司已利用其前沿技术在战略上将自身定位成高精度3D传感器领域的全球领先企业，这让CyberOptics能够进一步增加公司向其关键垂直细分市场的渗透。CyberOptics总部位于明尼苏达明尼阿波利斯，公司通过在北美、亚洲和欧洲的工厂开展全球运营。
有关该公司预期业绩的陈述为前瞻性陈述，因此会受到风险和不确定性的影响，包括但不仅限于：全球SMT和半导体资本设备产业的市场条件；该公司产品销售尤其是其SMT系统所面临的不断加剧的价格竞争和价格压力；来自该公司OEM客户的订单水平；满足客户订单要求所需的零部件供应情况；预期的产品开发挑战；全球事件对该公司销售的影响，其中多数来自国外客户；电子市场技术的快速变化；竞争对手推出的新产品和定价情况；能否成功把握我们的3D技术计划机会；关于LDI的预期值及其对我们的业务的影响；与LDI相关的整合风险；预计2015年销售额至少增长10%，经营业绩将实现收支平衡；以及在该公司向美国证券交易委员会提交的文件中所规定的其他因素。
所有商品名称均为其各自公司的商标。
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