东京--(美国商业资讯)--日本电子株式会社(JEOL Ltd., TOKYO:6951)(总裁兼首席运营官:Izumi Oi)宣布推出新的原子分辨率分析电子显微镜JEM-ARM300F2 (GRAND ARM(TM)2),该电子显微镜将于2020年2月发布。
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产品开发背景
在电子显微学领域,众多显微镜学家和工程师一直在追求分辨率的改善。同时,JEOL致力于提高透射电子显微镜(TEM)的稳定性。通过将像差校正技术与上述努力你相结合,我们已成功实现超高的分辨率。
JEM-ARM300F (GRAND ARM(TM))是一款原子分辨率TEM,旨在实现同类最佳的分辨率。但是,现代TEM的需求同时包括对硬质材料及软质材料的表征。在这种情况下,TEM用户渴求进一步改善分辨率和分析,并获得更高的准确度。
日本电子株式会社开发了一款可满足所述要求的新的TEM,即JEM-ARM300F2 (GRAND ARM(TM)2)。这款超高原子分辨率分析TEM搭载诸多功能。特别是,借助新型物镜极靴FHP2,GRAND ARM(TM)2实现了超高原子分辨率成像与同类最佳的大立体角EDS元素分析的最佳组合。
GRAND ARM(TM)2的标准配置包括外壳,该外壳可减少外部干扰,从而提高仪器的稳定性。
主要特性
1. 超高空间分辨率与高灵敏度X射线分析的最佳组合。
新开发的FHP2物镜极靴的特性如下:
1) 与之前的FHP相比,FHP2提供更高的X射线探测效率(1.4sr),是FHP的两倍以上。
2) 低光学系数、低Cc系数和低Cs系数使得超高空间分辨率和高灵敏度X射线分析可在一定范围的加速电压下执行。
(保证的STEM分辨率:300kV时53pm,80kV时96pm)*
*这是指配置STEM扩展轨迹像差(ETA)校正器时。
2. 物镜的宽间隙极靴(WGP)有助于超高灵敏度的X射线分析。
该极靴的上磁极和下磁极之间的间隙较大,具有以下优点:
1) WGP使大面积的SDD(硅漂移检测器)能够靠近样品,实现超高灵敏度的X射线分析(总立体角为2.2sr)。
2) WGP可容纳较厚的样品架,从而可以进行各种类型的原位实验。
3. 日本电子株式会社开发的球差(Cs)校正器已整合到显微镜柱中,提供超高的空间分辨率。
1) 结合FHP2时,GRAND ARM(TM)2在300kV时的STEM分辨率达到53pm。
2) 结合WGP时,GRAND ARM(TM)2在300kV时的STEM分辨率达到59pm。
3) JEOL COSMO(TM)(校正系统模块)可以快速、轻松地进行像差校正。
4. 标配冷场发射枪(Cold-FEG)。
GRAND ARM(TM)2配有Cold-FEG,使得电子源扩散的能量较小。
5. 减少外部干扰的外壳
这种新的外壳是减少气流、室温变化和声学噪声等外部干扰的标准配置。
主要规格
保证的分辨率
|
HAADF-STEM图像:53pm(结合ETA校正器和FHP2时) |
加速电压 |
标准:300kV和80kV |
能量色散X射线光谱仪 |
大面积SDD (158 mm2):可使用双向检波器 |
年度单位销售目标
10套/年
日本电子株式会社
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan
Izumi Oi,总裁兼首席运营官
(股票代码:6951,东京证券交易所第一部)
www.jeol.com
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